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이산화 주석

SnO₂
증착 방식: PVD — Sputter & Evaporator
분류: 산화물
화학식: SnO₂

RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착하는 이산화 주석(SnO₂) 박막입니다. 141 nm 막 기준 굴절률 1.999 @ 587 nm이며, 가스 센서·투명 전도층에 쓰이는 안정적 광대역 산화물입니다. 타깃: 순도 99.5 %, 3인치.

Specifications

Thin-Film Specifications

이산화 주석 characterization data 1
  • Film-coated by RF magnetron sputtering vacuum < 1.0 × 10⁻⁶ Torr
  • Substrate : Si (100)
  • Thickness : 141 nm
  • Refractive Index (n) : 1.998737 (@ 587 nm)
  • Extinction Coefficient (k) : 0.03812 (@ 587 nm)

Target Specifications

  • Target Material : Tin Dioxide
  • Purity : 99.5%
  • Diameter : 3”
이산화 주석 sputtering target Target