증착 의뢰는 이렇게 진행됩니다
원하시는 사양에서 완성된 박막까지.
- 01
의뢰 접수
필요한 소재·기판·공정 조건을 알려주세요.
- 02
전문가 검토
실현 가능성과 전·후처리 요구사항을 검토합니다.
- 03
견적
정확한 사양에 맞춰 금액과 납기를 안내해 드립니다.
- 04
증착
자체 장비로 공정을 진행하며, 전 과정의 공정 데이터를 수집합니다.
- 05
품질 검사
출하 전 기본 검사를 거칩니다. 요청하시면 추가 분석도 가능합니다.
- 06
출하
박막을 보내드립니다. 필요하시면 소자 제작까지 이어집니다.
분석·측정 솔루션
비파괴 분광부터 전기적 특성 분석까지.
소재 분석
- SEM (include EDS) 주사전자현미경
- TEM (include EDS) 투과전자현미경
- XRD X선 회절 — 결정성
- XPS X선 광전자 분광
- UPS 자외선 광전자 분광
- AFM 원자간력 현미경
- Raman 라만 분광
소자 특성 분석
- I–V 전류–전압 특성
- C–V 정전용량–전압 특성
- Pulse 펄스 측정
- Ferroelectric 분극 이력 곡선
- Piezoelectric 압전 응답 측정
- Hall 홀 효과 측정
- PPMS 물성 측정 시스템 (2 K ~ 400 K)
장비 솔루션
30년 경력 진공장비 전문가와 함께 자체 개발한 증착 장비입니다. 모든 장비가 공정 데이터를 수집합니다.
PVD & ALD
스퍼터링 · 열 증발 증착기 · 인라인 스퍼터 · 6인치/12인치 ALD
스퍼터
인라인 스퍼터
열 증발 증착기
ALD — 6인치
ALD — 12인치
공정 빅데이터 수집 시스템
플라즈마 발광, 잔류 가스, 주요 공정 변수를 인시투로 수집합니다. 수집된 데이터는 머신러닝 기반 공정 최적화와 물성 예측에 활용됩니다.
01 IN-SITU SENSING 자체 스퍼터 · 실시간 센서 3종
02 BIG DATA + AI 수집 · 학습 · 분석
03 OUTCOMES 공정 최적화 · 특성 예측
자체 개발 스퍼터
RGA — 잔류 가스 분석기 · OES — 광학 발광 분광기 · TSP — 티타늄 승화 펌프
RGA — 기기 · 실측 스펙트럼
OES — 기기 · 발광 스펙트럼
Big Data + AI
공정 데이터 수집 · 머신러닝 학습
공정 최적화
Thin film process optimization
특성 예측 모델
Characteristic prediction model