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스칸듐

Sc
증착 방식: PVD — Sputter & Evaporator
분류: 금속
화학식: Sc

스퍼터링·증발 증착으로 형성하는 스칸듐(Sc) 박막입니다. AlScN 코스퍼터링·합금막에 활용됩니다. 타깃: 순도 99.99 %, 3 인치.

Specifications

Thin-Film Specifications

스칸듐 characterization data 1
스칸듐 characterization data 2

Target Specifications

  • Target Material : Scandium (Sc)
  • Purity : 99.99%
  • Diameter : 3”
스칸듐 sputtering target Target