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하프늄

Hf
증착 방식: PVD — Sputter & Evaporator
분류: 금속
화학식: Hf

스퍼터링·증발 증착으로 형성하는 하프늄(Hf) 박막입니다. 게이트 적층·질화물 전구층에 활용됩니다. 타깃: 순도 99.95 %, 2 인치.

Specifications

Thin-Film Specifications

하프늄 characterization data 1
하프늄 characterization data 2

Target Specifications

  • Target Material : Hafnium (Hf)
  • Purity : 99.95%
  • Diameter : 2”
하프늄 sputtering target Target