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이산화 티타늄

TiO₂
증착 방식: PVD — Sputter & Evaporator
분류: 산화물
화학식: TiO₂

RF 마그네트론 스퍼터링(1.0 × 10⁻⁶ Torr 이하, Si (100))으로 증착하는 이산화 티타늄(TiO₂) 광학 박막입니다. 150 nm 막 기준 굴절률 2.534 @ 587 nm(1525 nm에서 2.422), 소광계수 0으로 광학 코팅·광촉매·고유전 적층에 적합합니다. 타깃: 순도 99.99 %, 3인치.

Specifications

Thin-Film Specifications

이산화 티타늄 characterization data 1
이산화 티타늄 characterization data 2
이산화 티타늄 characterization data 3
  • Film-coated by RF magnetron sputtering vacuum < 1.0 × 10⁻⁶ Torr
  • Substrate : Si (100)
  • Thickness : 150 nm
  • Refractive Index (n) : 2.534084 (@ 587 nm) / 2.422304 (@ 1525 nm)
  • Extinction Coefficient (k) : 0.000000 (@ 587 nm) / 0.000000 (@ 1525 nm)

Target Specifications

  • Target Material : Titanium Dioxide
  • Purity : 99.99%
  • Diameter : 3”
이산화 티타늄 sputtering target Target